主要的工艺特点是较小的切削深度（一般为微米级），极小的刀具磨损，多使用金刚石刀具，以达到镜面级加工表面为目的。主要以被加工表面的表面质量作为加工评价参数，零件的尺寸精度并不是关键因素。由于加工行业的技术水平在不断进步，精密和超精密加工可以达到的表面质量和加工精度是个不断缩小的变化值，而且与所在国家和行业的技术水平有很大关系。在国内，军工和科研行业的最小切削厚度已经在微米级以下，表面质量在20纳米左右。我现在的日本实验室，最小切削厚度是1纳米。其实现在比较新的概念是微小切削，精密和超精密切削已经不太准确了。